當(dāng)今LCD顯示器的生產(chǎn)過(guò)程中清洗工藝的優(yōu)劣是至關(guān)重要的，目前最流行的是將高壓水射流清洗技術(shù)應(yīng)用到玻璃基板的清洗工藝中，可通過(guò)將清洗液加壓到上百bar的壓力，再通過(guò)孔徑為0.5～1.5mm的微孔噴出，形成高流速的微小液滴來(lái)清洗玻璃基板。這一技術(shù)提高了噴淋清洗的洗凈力，縮短了清洗線(xiàn)的長(zhǎng)度，節(jié)省了凈化空間和DI水的使用量。之前我們介紹了《高壓清洗機(jī)在玻璃基板清洗中的應(yīng)用》，以下主要介紹高壓水射流玻璃基板清洗技術(shù)的實(shí)際效果。

 

 

對(duì)噴射壓力為100 bar，噴射距離為100 mm的狀況進(jìn)行試驗(yàn)，結(jié)果表明，從微孔噴射嘴噴出的清洗液在空氣中運(yùn)行時(shí)，與空氣發(fā)生碰撞后進(jìn)一步微細(xì)化。對(duì)其粒徑的統(tǒng)計(jì)表明，其平均粒徑為0.034 μm，在到達(dá)距離噴嘴100 mm 的基板時(shí)，速度為40～50 m/s的微細(xì)水滴所占比例最大。只要通過(guò)壓力調(diào)節(jié)就可以得到所需要粒徑和速度的清洗液滴，以達(dá)到所需要的清洗效果。下圖為清洗時(shí)微細(xì)液滴微觀(guān)照片。

 

 

實(shí)際證明，高壓水射流玻璃基板清洗技術(shù)與以前的傳統(tǒng)的清洗方式相比較具有對(duì)清洗的物件損傷較小、不會(huì)對(duì)清洗物造成二次污染和DI水用量小等優(yōu)點(diǎn)。其中省水的優(yōu)點(diǎn)更是顯著，它的噴嘴每分鐘只有小于一升的用水量，這樣就能很大程度上降低清洗線(xiàn)的DI水用量，并由于它清洗的高效率也使得清洗線(xiàn)的長(zhǎng)度很大程度節(jié)省了凈化空間。這些優(yōu)點(diǎn)將使的超高壓清洗成為L(zhǎng)CD清洗工藝中更先進(jìn)更有效的清洗工藝，它將在很大程度上彌補(bǔ)傳統(tǒng)清洗工藝的不足。